环境控制:校准环境温度需严格控制在 23℃±2℃,相对湿度≤50%,并远离强电磁干扰源。
仪器预热:仪器开机后需预热 30 分钟以上,以保证内部信号源频率的稳定度达标。
标准器配置:需配备经国家计量院校准的标准空气电容、已知介电常数的标准介质试样(如熔融石英、聚四氟乙烯等),以及高频阻抗分析仪等溯源基准设备。
开路/短路补偿校准:在不放置样品的情况下,依次完成开路清零和短路清零操作。这一步旨在扣除测试夹具的引线残余电感和杂散电容对高频测试的干扰。
标准空气电容校准:将仪器直接连接标准空气电容,在全频段逐点测试电容示值。通过记录与标准值的偏差,利用仪器内置补偿功能修正系统误差,确保电容测量精度(如达到±0.1pF以内)。
标准介质试样校准:选用厚度均匀、表面平整的标准样片(如已知介电常数的熔融石英),按照标准规定的两电极系统装夹。在全频段测试其介电常数和介质损耗因数,将实测值与标准值对比,进一步修正仪器的系统偏差。
频率与Q值校准:用频率计核验输出信号的频率准确度(如1MHz~300MHz范围内偏差≤±0.01%);使用标准Q表校准品质因数Q值,确保介质损耗因数(tanδ)的分辨率满足要求。
电压与绝缘检查:使用校准过的高压电压表检查仪器高压输出的准确性;检查高压端与外壳、测量端之间的绝缘电阻,防止漏电影响测量精度或带来安全隐患。
正接法(常规):标准器可靠接地,仪器高压输出端接标准电容端,测量端接介损低端。此法接线规范、误差小,适合绝大多数实验室日常校准。
反接法(特殊场景):当被测仪器本身必须直接接地时使用。此时标准器需置于绝缘支架上整体悬空,测量线对地保持≥15cm安全距离。由于存在对地杂散电容,测得数据通常略大于正接法,但在误差范围内可接受。操作时需全程佩戴绝缘手套。
合格判定:完成全流程校准后,仪器在全频段内的相对介电常数示值误差应≤±0.5%,介质损耗因数示值误差≤±1×10⁻⁴,方可判定为合格。
校准周期:建议校准周期不超过 12 个月。此外,每次更换测试夹具、测试引线,或在环境温度变化较大时,都必须重新完成全流程校准。
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